ナノ振動子（Nanocantilevers）

「振動子」とは、一定の往復運動をくりかえすもので、時計の振り子のように、身近にも広く用いられている。振動子は、その形や重さの変化に敏感で、振動子の感度を向上させるには、振動子の質量や大きさを小さくすることや、損失の小さい振動にすること、などが必要である。特に、原子や分子の場合、それらの付着・離脱を質量変化で検出するためには、振動子を極端に小さく作製することが必須である。

　現在、様々なナノメータオーダーの機械振動子の作製方法が行われている。層状のシリコン基板を用いると、安定して10ナノメータから100ナノメータ程度の振動子の作製が可能になり、それを用いて原子レベルの相互作用を検出することが可能になってきている。

　ナノ振動子は広い用途での応用が期待されている。ナノ振動子を用いて、固体表面と振動子の間に作用する力や質量のやり取りを検出することや、ある特定の物質に反応する薬品を振動子にコーティングしておくことにより、特定の物質の有無や濃度を高感度で検出することが可能である。

◆　応用分野

ナノ振動子は、ナノスケールでの現象計測へ応用される。大気や水に含まれる微量の汚染物質の検知や快適度チェックなどの、環境分野への応用。 「質量」や「力」センサーの原理を利用した様々な極限センシングデバイスへの応用。 ナノカンチレバー（板バネ）, ナノメメトリックオシレータ(Nanometric Oscillators）

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　⇒　ナノテクノロジー（Nanotechnology）