AFM（原子間力顕微鏡）

原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic Force Microscope）は、探針と試料に作用する原子間力を検出するタイプの顕微鏡です。広義ではSPM（走査型プローブ顕微鏡）と同義ですが、コンタクトモードやコンタクトAFMと呼ばれることもあります。

ＡＦＭ探針は、片持ちバネ（カンチレバー）の先端に取り付けられています。この探針と試料表面を微小な力で接触させ、カンチレバーのたわみ量が一定になるように探針・試料間距離（Z）をフィードバック制御しながら水平（X、Y）に走査することで、表面形状を画像化します。コンタクトAFMモードは多機能型SPMの基本になる測定モードで、カンチレバー種類や信号検出の方法を変えることにより様々な物性測定が可能となります

原子間力はあらゆる物質の間に働き、容易に試料を観察することができるため、探針と試料表面間に流れるトンネル電流を利用するSTMとは異なり、絶縁性試料の測定も可能である。また電子線を利用するSEMのように導電性コーティングなどの前処理や装置内の真空を必要とする事もない。このため、大気中や液体中、または高温〜低温など様々な環境で、生体試料などを自然に近い状態で測定できる。

他の走査型プローブ顕微鏡と同様に空間分解能は探針の先端半径（nm程度）に依存し、現在では、原子レベルの分解能が実現されている。

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