超音波顕微鏡

　超音波顕微鏡は、超音波を利用する顕微鏡。周波数が100メガヘルツから3ギガヘルツの超音波パルスを試料に照射し、その反射波や透過波を圧電素子で受信し、試料表面および光学的には見られない内部構造などを観察する。電子部品、半導体素子の非破壊検査などに使われる。1マイクロメートル程度の分解能をもつ。

超音波顕微鏡は物質・材料の弾性的性質をとらえ、非破壊的に材料を評価する技術である。なかでも、集束超音波を用いた機械走査型超音波顕微鏡（Mechanically Scanned Acoustic Microscope　SAM)は分解能と定量性に優れた実用的なシステムである。集束超音波は水カプラを介して試料に照射され、計測には試料表面に励振される漏洩弾性表面波（Leaky Surface Acoustic Wave LSAW）が利用される。画像計測においては、分解能は超音波周波数に依存し、水カプラを用いた場合、1GHzで1μmとなる。定量計測では、試料と超音波デバイスとの距離を変化させることで試料の結晶学的あるいは構造学的異方性を極めて高い精度で計測することができる。光学材料としても重要な強誘電体であるニオブ酸リチウムなどの特性評価に適用されている。

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　⇒　顕微鏡（microscope）の種類