X線マイクロアナライザー (X-ray micro analyzer)

　微小分析方法の一つ

　きわめて細く絞った電子線を試料表面に照射して、その部分から放射される特性X線の波長と強度をX線分光器で測定することにより、その微少部に含まれている元素を定性あるいは定量する装置である。当初は、照射点の定性・定量分析を行う静止型であったが、その後、電子線で試料表面を走査して元素のニ次元分布を観測する装置も開発され、今では全てこの方式になっている。

　本装置は、元来、電子プロープX線マイクロアナライザー（EPMA）として、フランスで発表されたが、X線マイクロアナライザーの名称で国産化が行われたこともあり、後者の名称もよく用いられている。

　溶融炭酸塩形燃料電池の研究では、腐食した金属材料の腐食皮膜の元素分布や、電解質板に析出したニッケルなどを調べるのに用いている。

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