TDI（Tool Data Interface）

日本国内のデバイスメーカーによるコンソーシアムであるSeleteにより提唱されている、装置データインターフェース。TDIのコンセプ トでは装置側で装置データを一時保存するためのDBを持ち、ユーザである上位システムはこのDB内のデータにアクセスし必要なデータを 収集する。TDI-DBのユーザはデバイスメーカーだけではなく、装置サプライヤもこのデータを利用し、EESアプリケーション (EEQA, EEQM) を構築することが可能となる。

●　

　⇒