圧力センサ

圧力センサとは、空気圧の変化を内部の感圧素子にて電気信号に変換するものです。圧力センサは、あらかじめ設定した圧力値をこえたときに、電気信号として出力するもので、空気圧を利用した吸着確認・着座確認・リークテスト・元圧管理など様々な用途に使用されています。

圧力センサは、電子式と機械式（ブルドン管式など）に大きく分けられます。従来は機械式が多く使用されていましたが寿命が短いため高精度、長寿命、高速応答などの特長を持つ、電子式が主流となっています。

　電子式センサには、シリコンダイヤフラム式やステンレス（SUS)ダイヤフラム式 などがあります。
半導体Ｓi を材料としたものは、Ｎi ,Ｃu 合金を用いた抵抗線式に比べ、約１桁 高感度であり、中でもマイクロマシーニング技術を応用して作られる拡散式の ものは量産性が高く、相対圧（＝ゲージ圧）タイプは約20 gf／c �u〜200 kgf／c �u くらいまで幅広くカバー出来るとともに、 絶対圧タイプも作成可能などの特長を備えており、最も多く生産されている。
他方、SUS ダイヤフラムを用いた成膜式のものは高圧用途に、平行平板を原理とした静電容量式のものは微圧用途に適している。又、拡散式と静電容量式には集積化センサも作られている。 　パッケージとして、主に、車載用にはCAN、民生用にはプラスチック、高圧・食品用には SUS のケースが使用されている。

種類	メモ
ビエゾ形圧力センサ	ダイヤフラムの表面に半導体ひずみゲージを形成
静電容量形圧力センサ	ガラスの固定極とシリコンの可動極を対向させてコンデンサを形成
シリコンレゾナントセンサ	振動子の共振周波数を使用。高確度と、高い分解能。
ストレインゲージセンサ	素子のひずみによる抵抗変化を利用する計測素子

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