流速・流量センサ

　流量とは、単位時間にある任意の断面を通過する流体の容積あるいは質量（または重量）のことであるが、その測定原理はオリフィス、フローノズル、ベンチュリー管、ピトー管などを利用した差圧流量計を始め、電磁流量計、超音波流量計、面積流量計、渦流流量計（渦電流検出方式）、コリオリ式流量計、マスフローメータ，マスフローコントローラなど多種に渡っている。

　○　差圧流量計

差圧流量計は管路内に絞り機構を設け、その一次側と二次側の差圧を測定することで流量を検出する。

　○　電磁流量計

電磁流量計は電磁誘導の法則を利用して、磁極間を流れる導電性液体の発生する電気量を測定して流量を検出する。

　○　超音波流量計

また、超音波流量計は、流体中の超音波の伝搬スピードが流体の流れにより変化する事を利用する

　○　面積流量計

面積流量計はテーパ状管の中に浮かべたフロートの動きにより測定するものである。

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