真空紫外光（VUV光）

　波長は真空中で測定したものを基準としている。人間の目に見える光である可視光の波長範囲は400〜700 nm である。これより長い波長の光を赤外光、短い波長の光を紫外（UV：ultraviolet）光という。また波長200（190） nm 以下の領域の光は、空気（特に酸素のSchumann-Runge 帯）によって強く吸収される。この光を観測するには、光路をすべて真空にしなければならない。このことから、この領域の光を真空紫外（VUV：vacuum ltraviolet）光という。

　○ UVUレーザー

近年の材料科学、物質工学から光化学や分光、半導体リソグラフィといった多岐にわたる応用分野ではUV・VUV 域の短波長光源の重要性は非常に高い。短波長光は光子エネルギーが高いため物質と相互作用しやすく､種々の分子間結合を容易に切ることができる(E=h･c/λ)｡

可視光領域で透明なプラスチックやガラス、石英などの透明誘電体の吸収係数がUV・VUV 領域で非常に大きいため、透明誘電体に短波長レーザーを照射することで、透明誘電体の表面の極薄い層で吸収が生じ、アブレーション面で表面粗さが小さく、均一なきれいな加工が行える。

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