紫外線をプローブとする分析技術

　光電子分光、EXAFS、XRD、ESR、NMR、IR、ラマン分光、可視紫外分光、真空紫外分光、X線分光などがある。ここではX線をプローブとする分析技術を考える。X線はエネルギーの高い電磁波であり、あらゆる物質に対して透過力が高く、物質の分析には広く利用されている。

●　UPS（Ultra-violet Photoelectron(Photoemission)Spectroscopy）

紫外線光電子分光法
表面への紫外線（He�T,�U、SOR）の入射により、価電子付近の電子が表面から放出される。それらの電子の運動エネルギーを阻止電圧を用いた電子エネルギー分析器で測定し、入射した光のエネルギーから逆算して原子にとらわれていたときの結合エネルギーを計算できる。結合エネルギーに対する電子の分布を見れば基板表面にどの様な化学結合が存在しているかや表面の電子状態を調べることができる。EELSに似たスペクトルが得られる。
表面近傍における分子種の存在の定量的分析、表面吸着種の結合状態、表面のバンド構造、仕事関数
高真空以上の真空度でのみ測定可能 基本的に非破壊

●　AR-UPS（Angle Resolved Ultra-violet Photoelectron(Photoemission) Spectroscopy）

角度分解型紫外線光電子分光法
表面への紫外線（He�T,�U、SOR）の入射により、価電子付近の電子が表面から放出される。それらの電子の運動エネルギーを阻止電圧を用いた電子エネルギー分析器で測定し、入射した光のエネルギーから逆算して原子にとらわれていたときの結合エネルギーを計算できる。結合エネルギーに対する電子の分布を見れば基板表面にどの様な化学結合が存在しているかや表面の電子状態を調べることができる。また角度分解を行うことにより、エネルギー帯の分散を直接求めることができる。
表面近傍における分子種の存在の定量的分析、表面吸着種の結合状態、表面のバンド構造、仕事関数
高真空以上の真空度でのみ測定可能 基本的に非破壊

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