特殊材料ガス

特殊材料ガスは全３９種類あり、高圧ガス保安法以外に、労働安全衛生法、毒物及び劇物取締法、消防法等の規制を受けるものも存在します。

平成３年に、 特殊材料ガスのうち汎用性の高い、モノシラン(SiH4)、ジシラン(Si2H6)、アルシン(AsH3)、ホスフィン(PH3)、ジボラン(B2H6)、セレン化水素(H2Se)、モノゲルマン(GeH4)の７種類は、「特殊高圧ガス」と定義され、法規制が加えられました。

分類	ガス名称	化学式	分子量	メモ
シ ラ ン 系	モノシラン	SiH4	32.12	燃・毒・臭
	ジシラン	Si2H6	62.22	燃・毒・臭
	ジクロルシラン	SiH2Cl2	101.01	燃・毒・腐・臭
	三塩化シラン	SiHCl3	135.45	燃・毒・腐・臭
	四塩化ケイ素	SiCl4	169.90	毒・腐・臭
	四フッ化ケイ素	SiF4	104.08	毒・腐・臭
ヒ 素 系	アルシン	AsH3	77.95	燃・毒・臭
	三フッ化ヒ素	AsF3	131.92	毒・臭
	五フッ化ヒ素	AsF5	169.91	毒・臭
	三塩化ヒ素	AsCl3	181.28	毒・腐・臭
	五塩化ヒ素	AsCl5	252.19
リ ン 系	ホスフィン	PH3	34.00	燃・毒・臭
	三フッ化リン	PF3	87.97	毒・臭
	五フッ化リン	PF5	125.96	毒・臭
	三塩化リン	PCl3	137.33	毒・腐・臭
	五塩化リン	PCl5	208.24	毒・腐・臭
	オキシ塩化リン	POCl3	153.33	毒・腐
ホ ウ 素 系	ジボラン	B2H6	27.67	燃・毒・臭
	三フッ化ホウ素	BF3	67.81	毒・腐・臭
	三塩化ホウ素	BCl3	117.17	毒・腐・臭
	三臭化ホウ素	BBr3	250.52	毒・腐・臭
金 属 水 素 化 物	セレン化水素	H2Se	80.98	燃・毒・臭
	モノゲルマン	GeH4	76.62	燃・毒・臭
	テルル化水素	H2Te	129.62	燃・毒・臭
	スチビン	SbH3	124.77	燃・毒・臭
	水素化スズ	SnH4	122.72	燃・毒・臭
ハ ロ ゲ ン 化 物	三フッ化窒素	NF3	71.00	毒・腐・臭
	四フッ化硫黄	SF4	108.06	毒・臭
	六フッ化タングステン	WF6	297.84	毒・腐・臭
	六フッ化モリブデン	MoF6	209.93	毒・腐・臭
	四塩化ゲルマニウム	GeCl4	214.40	毒・腐・臭
	四塩化スズ	SnCl4	260.50	毒・腐・臭
	五塩化アンチモン	SbCl5	299.02	毒・腐・臭
	六塩化タングステン	WCl6
	五塩化モリブデン	MoCl5	273.21	毒・腐・臭
金 属 ア ル キ ル 化 物	トリメチルガリウム	Ga(CH3)3	114.83	燃・毒・臭
	トリエチルガリウム	Ga(C2H5)3	156.91	燃・毒・臭
	トリメチルインジウム	In(CH3)3	159.93	燃・毒・臭
	トリエチルインジウム	(InC2H5)3	202.01	燃・毒・臭

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