熱陰極電離真空計の比感度係数

熱陰極電離真空計の読み値は一般に窒素を被測定気体として校正されて います。従って、窒素以外の気体を測定した場合は真の圧力を示して いないことになります。それを窒素換算値といって区別します。 窒素換算値から、その気体の真の圧力を知るには、窒素換算値を それぞれの気体の比感度係数で割ると求めることができる。 以下に代表的な比感度係数の値をしまします。

気体の名称	化学式	質量数	比感度係数	電離断面積比 （75eV）
水素	H2	2	0.49	0.38
重水素	D2	4	0.40	0.41
ヘリウム	He	4	0.22	0.13
メタン	CH4	16	1.58	1.63
水	H2	18	1.25	1.03
ネオン	Ne	20	0.36	0.25
窒素	N2	28	1.00	1.00
一酸化炭素	CO	28	0.95	1.06
空気			0.97	0.75
一酸化窒素	NO	30	1.17	1.24
エタン	C2H6	30	2.58	2.74
酸素	O2	32	0.88	0.96
アルゴン	Ar	40	1.34	1.23
プロパン	C3H8	44	3.44	3.64
ブタン	C4H10	58	4.04	4.57
クリプトン	Kr	84	1.88	1.84
キセノン	Xe	132	2.50	2.62

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