マイクロポンプ

マイクロポンプとは、超小型で精密なポンプの一種。駆動方式は、ステッピングモーターとプランジャーを組合せたタイプや、ピエゾ素子を用いたダイヤフラム式などがある。小型燃料電池用の燃料供給や分析機器用の液体輸送、バイオ・医療向けにも使われる。

thinXXS社は，パッシブチェックバルブを用いたマイクロダイヤフラムポンプを製造しています。非常に少量の液体 / 気体を取り扱うことができ，流量はピエゾアクチュエータの周波数によって制御できます。
ピエゾ駆動のマイクロポンプは，エネルギー消費が少ないなど多くの利点があります。射出成型を用いた経済的な製造法で，使い捨てデバイスのアプリケーションを可能とします。

圧電セラミックスを駆動源とした送液用マイクロポンプは、 超小型・薄型 、 高い液体吐出圧力 、 低消費電力 、 液密ではない状態からの吸引力 、 等がある。

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