Roll to Roll方式

　ロール状のフィルム(基板)を連続的に繰り出し＆巻き取りながら各種膜を成膜＆パターニングすることによりデバイスを生産する方法。容易に想像できるように生産性がきわめて高いため、大量生産に有効。とくに単層膜から3層程度の多層膜の成膜に適しており、各種機能性プラスチックフィルムの成膜によく用いられる。

　反面、生産設備が大掛かりになるほか、少量多品種生産には適していないというデメリットもある。さらに、露光工程など高精度なアライメントが必要な工程には不向きである。このため、Roll to Roll方式の変形として搬送を連続で行い、露光などのプロセス時は静止状態でフィルムを処理するタクトタイム送り方式もよく用いられる。

　従来、Roll to Roll方式はプラスチックフィルム専用の生産システムだったが、近年は100μm以下という超薄型ガラスも登場。このフレキシブルロールガラスをRoll to Roll方式で処理することも提案されている

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