ADR（Automatic Defect Review）

　自動欠陥レビューの略。

欠陥レビューは、ウェーハ検査装置にて検出した異物、欠陥等の形状、成分等をより詳しく観察、分類、分析すること。自動欠陥レビューは、欠陥検査で取得された欠陥情報（座標など）により、自動的に目的の欠陥画像取得、データ保存を行いデータベース化すること。

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