ECR ( Electron Cyclotron Resonance )

　電場と磁場との相互作用による電子サイクロトロン共鳴を利用して生成される高密度プラズマ。電場 周波数が2.45 GHz のとき ECR 条件を満たす磁場強度は 0.0875 T となる。エッチング装置では厳密 な意味で共鳴現象を生じていない場合が多い。

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