ロードポート

　装置に材料を供給するインタフェース部分を指す。300mm 生産においては、AMHS、PGV またはオペレータから FOUP の供給を受け、ウェーハを装置に送り込み、プロセスの終了したウェーハを FOUP に収納し、前述した搬送系に渡す役割を果たす。

ロードポートの機能は、FOUP のクランプ、ドッキングとアンドッキング、FOUP ドアの開閉などであり、ウェーハの取り出しと挿入は別のロボットが行う。このため、「FOUP オープナー」と呼ばれる場合もある。FOUP 内のウェーハをマッピングする機能を持つロードポートもある。ロードポートとウェーハ移載ロボット、ウェーハの移載空間を清浄に保つための FFU を統合したモジュールを EFEM とも「エンクロージャ」とも呼ぶ。ロードポートに載置された FOUP を境界として、装置側を高クリーン度、外側を低クリーン度とすることで、クリーンルーム建設・運転経費を抑制する効果があるとされる。ロードポートは SEMI により高度に標準化されており、各社の FOUP やロードポートの間で機械的互換性がある。

　■　AMHSインテグレータ（Automated Material Handling System Integrator）

　INTERBAY/INTRABAY AMHS SEM（IBSEM）及び、AMHS STORAGE SEM（STOCKER SEM）に準拠した搬送設備と接続し、各搬送設備に対する搬送命令を統括して制御する搬送制御システム。工程間搬送設備、工程内搬送設備及び、ストッカーと MES との間に設置され、MES からの各種指示を各搬送設備に適時伝え、各搬送設備からの報告をまとめてMESへ伝達する機能を持っている。従来の呼称は MCS（Material Handling Control System）。

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