SEM（Specific Equipment Model）規格

　SEMI スタンダード規格の一つであるSEM（Specific Equipment Model）では、装置の個別装置モデルを確立しており、自動化された（半導体生産）工場への装置の統合を容易にすることを趣旨としている。モデルは装置特性及び、挙動で構成されており、標準化されたホストインタフェース及び装置のオペレーション挙動（コントロール、状態モデル、データ報告、報告レベルなど）が定義されている。AMHS 関連の SEM としては、工程間/工程内搬送装置を対象としたE82-0999 INTERBAY/INTRABAY AMHS SEM（IBSEM）と、ストッカーを対象としたE88-0999 AMHS STORAGE SEM（STOCKER SEM）が定義されている。

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　⇒　AMHS（Automated Material Handling Systems）