TDI（Tool Data Integration）

　日本国内のデバイスメーカを中心に規定している、装置データインターフェース。TDIのコンセプトでは装置側で装置データを一時保存するためのDBを持ち、ユーザである上位システムはこのDB内のデータにアクセスし必要なデータを収集する。

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