Subject : LTPS(low temperature poly-silicon)
カテゴリー : 半導体 >
LTPS(low temperature poly-silicon)
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低温多結晶シリコン。TFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)を形成するシリコン薄膜を,ガラス基板などが変形しない比較的低温で作成する。中小型で高輝度のアクティブマトリクス駆動方式の透過型LCD(液晶ディスプレイ)に採用されている。
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HTPS(high temperature poly-silicon)
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