走査型プローブ顕微鏡（Scanning Probe Microscope）

走査型プローブ顕微鏡 (SPM) は、先端を尖らせた探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡の種類である。

実際の例としては、表面を観察する際、微少な電流(トンネル電流)を利用する走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力を利用する原子間力顕微鏡(AFM)をはじめ、数多くの種類がある。

分類	略称	メモ
走査型トンネル顕微鏡	STM	微少な電流(トンネル電流)を利用
原子間力顕微鏡	AFM	原子間力を利用
走査型磁気力顕微鏡	MFM	強磁性探針と試料間の磁気力から磁区構造を評価
走査型SQUID顕微鏡		超伝導量子干渉計（SQUID）をプローブとし、試料表面の磁束を評価する。
走査型ホール素子顕微鏡	SHPM	ホール素子をプローブとし、試料表面の磁場を検出する。
走査型ケルビンプローブフォース顕微鏡	KFM	電圧を印加して表面電位を評価する。
走査型マクスウェル応力顕微鏡	SMM	プローブに交流電圧を印加し、表面電位を評価する。
静電気力顕微鏡		パルス電圧を印加し、静電気力を評価する。
走査型圧電応答顕微鏡	PFM	試料に交番電界を印加した時の微小な変形から圧電特性を評価する。
走査型非線形誘電率顕微鏡	SNDM	プローブに共振回路を接続し、試料に交番電界を印加した時の共振周波数の変化から非線形誘電率を評価する。
走査型近接場光顕微鏡	SNOM	プローブ先端から近接場光を印加して複素透過率を評価する。

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