フィゾー干渉計（Fizeau Interferometer）

　レーザなどを光源とし、発散レンズとコリメータレンズとで光源光の光束径を拡大し、光軸に対して垂直に配置した透明な平行平面板(参照面)からの反射光と、被検面からの反射光とで干渉縞(等厚の干渉縞)を生成する干渉計。

発散レンズとコリメータレンズとの間にビームスプリッタを置いて光路を分割し、参照面と被検面からの反射光により生成された干渉縞をレンズで投影し、スクリーンあるいは撮像素子を用いて観察する。参照面に対する被検面の形状の差(誤差)を観察することができる。球面を測定する場合には、平行平板の代わりに球面レンズを参照面として用い、収束光を被検面に入射させ、球面レンズの表面での反射光と被検表面の反射光により干渉縞を生成する。レンズの透過波面の測定も可能である。

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　⇒　干渉法