超解像（Super Resolution）

　光学系が伝達できる情報の解像度は、光学系の開口数と波長で制限される限界がある。理論的解像度の限界を超えた解像度を実現する方法を超解像という。

古くは超解像フィルタのように、入射瞳に入射する光束のうち、中心部分の光束をカットし、0次の回折光を結像に寄与させない方式を超解像と称していたが、最近では理論解像度限界を超え、解像度を向上させる方法をすべて超解像と呼ぶようになってきている。超解像技術を大きく分類すると、限界解像度を向上させる技術とコントラストを向上させる技術の二種がある。解像度を向上させる方式には、位相シフトマスク、共焦点顕微鏡、多重露光方式、超解像フィルタなどがあり、コントラストを向上させる方式には、アポダイゼーション、ハーフトーンマスク、斜入射照明方式、光ディスク再生の遮光帯方式、位相差顕微鏡などがある。

■　超解像フィルタ（Super Resolution Filter）

　中心部の透過率が低く、周辺部に行くにしたがって透過率が大きくなるフィルタ。このフィルタをレンズの入射瞳に設置すると、光束の中央部の強度のウエイトが低くなるため、高周波のコントラストを高めることができる。解像度は向上するが、逆に低周波のコントラストは低下する。また1次回折光の強度が強くなり、エアリディスクのリングの強度が強くなる。超解像フィルタとは逆の方式にアポダイゼーションがある。

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