BEOL（Back End Of Line）

　半導体前工程の中で、配線形成工程をBEOL (バックエンド) と呼ぶ。この工程では、FEOLで形成されたトランジスタなどの素子による回路を形成するための接続配線を形成する。金属プラグの形成や金属配線層の形成・加工など金属加工が中心となるため、メタライゼーション工程 (メタライズ) などとも言われることもある。

○

　⇒