EFEM (Equipment Front End Module)

　SMIFやFOUPといった、ウェハ搬送ポッドと製造装置のインターフェース。ロードポートの機能を持ち、ポッド内のウェハを、クリーンルーム環境に直接暴露することなく、局所的なクリーン環境を保持したまま、ウェハを装置内部へ導入する。

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