Subject   : ミラー用保護膜

カテゴリー  : 産業・技術 > 材料技術


 ミラー用保護膜
 アルミニウムは非常に酸化しやすい金属です。
アルミニウムで鏡を作ると酸化膜で鈍い鏡面になってしまうので表面に保護膜をもうけて鏡面の劣化が進まないようにしています。

○ Al2O3
 酸化アルミニウムはアルミニウムの表面保護に使われています。
アルミニウムの酸化を逆手にとった手法です。 酸化アルミニウム(Al2O3)はアルマイトとも呼ばれるもので、 薄膜構造が非常に緻密で2〜3nm以上には酸化が進まない性質をもっています。
これを電気処理で厚い酸化被膜にすると黒いアルマイト処理になります。

○ MgF2
 酸化アルミニウムは、紫外領域に吸収があるので、紫外線の反射ミラーには フッ化マグネシウムを使用します。製作には、真空中でアルミニウム蒸着で ミラーを作り、そのままの状態で保護膜を蒸着させます。

○ SiO
 酸化シリコンは、蒸着しやすく膜自体が丈夫なので保護膜として一番よく使われます。

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